渡邉孝信(早稲田大学・電子物理システム学科)
ねぇおかしいでしょ1/2
半導体デバイスの授業では、キャリアの基本的な輸送機構として、
ドリフト電流 と 拡散電流
の概念をまず学びます。まだ非平衡統計力学を学んでいない場合がほとんどでしょうから、ドリフトや拡散の概念を説明する際は、高校物理で登場する気体分子運動論が用いられます。熱運動する気体分子に電子をなぞらえ、平均速度
その際に困るのは、この初歩的に導出される拡散係数
を使って(
そうは言っても、拡散というキャリア輸送の微視的描像をつかむには、気体分子運動論に基づく説明に触れておくこともたいへん重要です。
表1に、筆者が知っている範囲ですが、代表的な教科書や専門書に書かれている拡散係数の式をまとめておきました。どうしてこうもいろいろあるのでしょうか?
それは、平均速度
表1 様々な拡散係数の式。 :平均速度(熱運動速度)、 :平均自由行程、 :平均自由時間
文献 | 拡散係数の式 | 備考 | |
[1] | S. M. Sze, M. K. Lee, Semiconductor Devices, Physics and Technology 3rd ed., Wiley (2013). | 1次元モデル | |
[2] |
B. L. Anderson, R. L. Anderson, Fundamentals of Semiconductor Devices 2nd. ed., McGraw-Hill, (2017). |
1次元モデル | |
[3] | W. パウリ, C. P. エンツ, 熱力学と気体分子運動論(パウリ物理学講座3), 講談社, (1976) | 3次元モデル。 |
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[4] |
F. Reif著, 久保 亮五監訳, バークレー物理コース「統計力学」, 丸善(1970) |
3次元モデル。 | |
[5] | ファインマン物理学II 光・熱・波動, 岩波書店 (1986) | 3次元モデル。係数の決定が難しいことを丁寧に解説しつつ、最後に1/3を天下り的に導入。 | |
[6] | ランダウ=リフシッツ理論物理学教程「物理学的運動学I」, 東京図書(1982) | ||
[7] | Atkins’ Physical Chemistry | 3次元モデル。導出はパウリ[3]とほぼ同じだが。最後に2/3を掛けている。 |
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[8] |
戸田 盛和, 斎藤 信彦, 久保 亮五, 橋爪 夏樹, 統計物理学(岩波講座「現代物理学の基礎」), 岩波書店 (1978) |
3次元のブラウン運動モデル。「 |
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[9] | O. E. Meyer, Kinetic Theory of Gases, (1899). | 3次元モデル。気体分子運動論による拡散係数の定式化の元祖。 |
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[10] | J. H. Jeans, The Dynamical Theory of Gases, Cambridge University Press (1916) | 3次元モデル。Meyer[9]の式を簡略化した議論で導いている。 | |
[11] | S. Chapman, T.G. Cowling, The Mathematical Theory of Non-uniform Gases, Cambridge University Press (1939) |
まず注意すべきは、考えている系の次元が必ずしも同じではないということです。3次元空間における拡散流を考える際、その流れの方向に対して斜影をとるため、
また、平均熱速度 には「速さの平均」や「根二乗平均速度」など、複数の定義があることも念頭に置いておく必要があります。ただしこの差はそれほど大きくありません。マクスウェル-ボルツマン分布を仮定した場合
となり、根二乗平均速度は速さの平均の0.92倍と、若干ですが小さめになります。
表1の文献[9]のMeyerの本は、気体分子運動論に基づいて拡散係数を定式化した最初期の仕事です。Meyerの式では、式
となり、
もう一つ、拡散係数