名称 | イオン銃付高温超高真空走査型電子顕微鏡 |
メーカー・型式 | 日本電子・ |
イオン銃 |
名称 | 顕微サーモグラフィ付プローバシステム |
概観 | |
メーカー・型式 | 株式会社システムブレイン・特別仕様 |
顕微サーモグラフィ | ヴュオールイメージング社製サーマルヴュー MCR32 Type S
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名称 | 半導体パラメータアナライザ |
メーカー・型式 | Keysight Technology・B1500A |
モジュール | 高分解能ソース/メジャー・ユニット(B1517A)×4
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名称 | ナノボルト/マイクロオームメーター |
メーカー・型式 | Keysight Technology・34420A |
名称 | 高精度DC低ノイズ電流ソース |
メーカー・型式 | Keithley・6220 |
電流 | ±100 fA~100 mA |
名称 | 卓上型ランプ加熱装置 |
メーカー・型式 | アドバンス理工株式会社・MILA-5050 |
温度範囲 | 室温~1200℃ |
加熱速度 | 50℃/s |
試料寸法 | 角50mm または φ50mm × t5 mm |
加熱雰囲気 | 真空中、窒素ガスフロー、アルゴン希釈水素(3%)フロー |