当研究室所属の富田基裕・次席研究員が、2018年6月20日、ハワイ・ホノルルで開催中の国際会議「VLSI symposia 2018」で口頭発表を行い、JST-CRESTプロジェクトで開発しているシリコン製マイクロ熱電発電素子の最新の成果を発表しました。
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体温・大気間のわずかな温度差で発電する新方式マイクロ熱電発電素子を発明
VLSIシンポジウムは、半導体技術に関する世界三大国際会議の1つに数えられる、権威ある国際会議です。今回の成果は、IoT(モノのインターネット)技術の重要な土台となる環境発電を、シリコンのLSI技術を使った熱電発電で実現できることを示したものです。今回のVLSIシンポジウムを代表する論文(Tip Sheet)に選ばれるなど、大いに注目されています。
Motohiro Tomita, Shunsuke Ohba, Yuya Himeda, Ryo Yamato, Keisuke Shima, Takehiro Kumada, Mao Xu, Hiroki Takezawa, Kohei Mesaki, Kazuaki Tsuda, Shuichiro Hashimoto, Tianzhuo Zhan, Hui Zhang, Yoshinari Kamakuri, Yuhei Suzuki, Hiroshi Inokawa, Hiroya Ikeda, Takashi Matsukawa, Takeo Matsuki, Takanobu Watanabe, “10μW/cm2-Class High Power Density Silicon Thermoelectric Energy Harvester Compatible with CMOS-VLSI Technology,” 2018 Symposium on VLSI Technology, Hilton Hawaiian Village, Honolulu, June 20, (2018).