設備（作成中）

名称 イオン銃付高温超高真空走査型電子顕微鏡
メーカー・型式 日本電子・
イオン銃
名称 顕微サーモグラフィ付プローバシステム
概観
メーカー・型式 株式会社システムブレイン・特別仕様
顕微サーモグラフィ ヴュオールイメージング社製サーマルヴュー MCR32 Type S

  • 非冷却式
  • 320×256 pixels
  • 8.33mm resolution
  • Image area 2.67mm×2.13mm
  • Temperature range 15～90℃
  • Accuracy ±5℃
  • Working Distance 11mm
名称 半導体パラメータアナライザ
メーカー・型式 Keysight Technology・B1500A
モジュール 高分解能ソース／メジャー・ユニット（B1517A）×４

  • 最小測定分解能　1 fA/0.5 μV
  • 最小電源分解能　5 fA/25 μV
名称 ナノボルト／マイクロオームメーター
メーカー・型式 Keysight Technology・34420A
名称 高精度DC低ノイズ電流ソース
メーカー・型式 Keithley・6220
電流 ±100 fA～100 mA
名称 卓上型ランプ加熱装置
メーカー・型式 アドバンス理工株式会社・MILA-5050
温度範囲 室温～1200℃
加熱速度 50℃/s
試料寸法 角50mm または φ50mm × ｔ5 mm
加熱雰囲気 真空中、窒素ガスフロー、アルゴン希釈水素（３％）フロー